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Información Básica.
Descripción de Producto
la deposición química de vapor adopta la tecnología de deposición de vapor químico mejorada por plasma, que puede utilizar plasma de alta energía para promover el proceso de reacción, aumentar de manera efectiva la velocidad de reacción y reducir la temperatura de reacción.
Es adecuado para depositar películas delgadas de nitruro de silicio, silicio amorfo y silicio microcristalino en diferentes sustratos como vidrio óptico, silicio, cuarzo y acero inoxidable. Tiene buena calidad de formación de película, menos agujeros de pins y no es fácil de agrietar. Es adecuado para la preparación de dispositivos de células solares de película fina de silicio microcristalino y silicio amorfo. Puede ser ampliamente utilizado en la investigación científica y la preparación de pequeños lotes de materiales de película fina en colegios y universidades e institutos de investigación científica.
Fuente de alimentación de RF | Frecuencia de la señal | 13,56MHz | |
Rango de potencia de salida | 0~500W | ||
Potencia máxima reflejada | 100W | ||
Potencia reflejada (a potencia máxima) | <5W | ||
Estabilidad de potencia | ±0,1% | ||
Sala de trabajo | Temperatura de calentamiento | RT-1000ºC. | |
Precisión de control de temperatura | ±1ºC. | ||
Soporte de muestras | Φ200mm | ||
Velocidad de rotación del portamuestras | 1-20rpm ajustable | ||
Tamaño del cabezal de pulverización | Φ90mm | ||
Distancia | La distancia entre el cabezal de pulverización y la muestra es de 40-100mm ajustable continuamente | ||
Vacío de trabajo para deposición | 0. 133- 133Pa (puede ajustarse según el proceso técnico) | ||
Brida | La brida superior puede ser levantada por el motor, el sustrato es fácil de cambiar, y hay una ventana visual | ||
Cámara | Material de acero inoxidable, Φ500mm * 500mm | ||
Ventana de observación | Φ100mm, con deflector | ||
Suministro de gas sistema | Números de canal | 6 | |
Unidad de medición | Controlador de flujo de masa | ||
Rango de medición | Un canal: 0~200SCCM para H2 | Observaciones: Si se requieren otros rangos, por favor especifique al ordenar. De acuerdo con los requisitos específicos del cliente, el medidor de flujo del tipo y rango de gas correspondiente es opcional. | |
Canal B: 0~200SCCM para CH4 | |||
Canal C: 0~200SCCM para C2H4 | |||
Canal C: 0~500SCCM para N2 | |||
Canal D: 0~500SCCM para NH3 | |||
E canal: 0~500SCCM para Ar | |||
Precisión de medición | ±1,5% F.S | ||
Diferencia de presión de trabajo | -0,15Mpa~0,15Mpa | ||
Tubo de conexión | acero inoxidable 304 | ||
Canal de gas | válvula de aguja de acero inoxidable 304 | ||
Especificación de interfaz | conector de casquillo de 1/4" para entrada y salida de gas | ||
Sistema de vacío | Bomba de respaldo | 4,7L/s | |
Bomba molecular | 1200L/s | ||
Medición de vacío | Indicador de vacío compuesto, rango 10-5Pa ~ 105Pa | ||
Grado de vacío | 5,0*10-3PA | ||
Enfriador de agua | Temperatura del agua de refrigeración | <=37ºC. | |
Flujo de agua | 10L/min | ||
Potencia | 0,1KW | ||
Potencia de refrigeración | 50W/ºC | ||
Fuente de alimentación | ac220v 50Hz |
Fundada en 2005, Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. Es una empresa especializada en el desarrollo y la producción de equipos de investigación de tecnología de laboratorio. Los productos son mezclados, prensados, quemados, cortados, molidos, equipo analítico pulido, revestido y consumibles relacionados. Los productos incluyen equipos de sinterización de laboratorio, equipos de revestimiento, etc. En la actualidad, se ha exportado a 25 países y regiones como los Estados Unidos, Europa y el sudeste de Asia, y ha sido bien recibido por varias unidades de investigación científica.
Tenemos un equipo de investigación y desarrollo tecnológico maduro, el número de técnicos es de 33, la empresa tiene 150 personas, más de 500 metros cuadrados de espacio de oficina, la fábrica cubre un área de unos 1.500 metros cuadrados situada en el Parque Industrial electrónico de la Zona de Alta Tecnología de Zhengzhou. Los productos están principalmente ubicados en el mercado de la investigación, sirviendo la investigación científica en los laboratorios de universidades y colegios, y también pueden personalizar los productos de acuerdo a sus necesidades.
P. ¿es usted un fabricante o una empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, tenemos su propio equipo de diseño y fábrica, tenemos una experiencia técnica madura, y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.
P. ¿Cómo es el sistema de servicio postventa de su empresa?
R. el período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responder a usted en 24 horas para resolver cualquier problema técnico.
P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A.1. Si los bienes están en stock, es de 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Normalmente toma 30-60 días dependiendo de las especificaciones del instrumento personalizado.
P. el suministro de energía y el enchufe de nuestro país son diferentes. ¿Cómo lo solucionas?
R. podemos suministrar un transformador y enchufe de acuerdo con sus requisitos locales de acuerdo con el enchufe de alimentación de diferentes países.
P. ¿Cómo pagar?
A.T / T, L / C, D / P, etc., se recomienda utilizar la Garantía Comercial Alibaba.
P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A.1. Modelo de exportación fumigación signo de madera embalaje de cajas 2. Express, aire, transporte marítimo de acuerdo con las necesidades del cliente, encontrar la manera más adecuada.
Si tiene más preguntas, póngase en contacto con el servicio de atención al cliente