PECVD deposición de vapor químico reforzada por plasma

Servicio postventa: 1 años
Garantía: 1 años
Solicitud: Industria, Colegio, Laboratorio
personalizado: personalizado
Proceso de dar un título: CE
Estructura: Escritorio

Products Details

  • Visión General
  • Descripción del producto
  • Parámetros del producto
  • Fotos detalladas
Visión General

Información Básica.

No. de Modelo.
CY-PECVD-240
Material
Acero inoxidable
Tipo
Horno tubular
método de refrigeración de la fuente de alimentación de rf
refrigeración por aire
zona de calefacción
zona de calefacción sencilla 200mm
precisión de temperatura
+-1c
material del tubo del horno
cuarzo de alta pureza
tamaño del tubo del horno
diám. 50*1200mm
velocidad ajustable
0-20rpm
Paquete de Transporte
Standard Export Wooden Packaging
Marca Comercial
CYKY
Origen
Zhengzhou Henan China
Código del HS
8401200000
Capacidad de Producción
50sets Per Month

Descripción de Producto

PECVD plasma mejorado deposición de vapor químico para silicio amorfo y. películas microcristalinas de silicio
Descripción del producto

CY-PECVD-240 deposición de vapor químico utilizando plasma mejorado tecnología de deposición de vapor químico, baja temperatura básica, rápido índice de deposición, deposición de nitruro de silicio, silicio amorfo y películas de silicio microcristalino en vidrio óptico, silicio, cuarzo, acero inoxidable y otros materiales de sustrato, buena calidad de formación de película, menos agujeros de aguja, no fácil de agrietar. Es adecuado para la preparación de dispositivos de células solares de película fina de silicio amorfo y microcristalino, y puede ser ampliamente utilizado en la investigación y la preparación de pequeños lotes de materiales de película fina en universidades e institutos de investigación científica.

Principales funciones y características:


El equipo PECVD utiliza el principio de la descarga de brillo capacitiva de placa plana para disociar el gas de proceso que pasa a la cámara de deposición y generar plasma. Los grupos disociados rereaccionan químicamente en el plasma. Debido a la presencia de plasma, se promueve la descomposición, combinación, excitación e ionización de las moléculas de gas, y se promueve la formación de grupos reactivos, reduciendo así la temperatura de deposición. Una película se deposita en un sustrato a una temperatura determinada. La densidad y la energía del plasma pueden ajustarse de acuerdo con el proceso, y la tasa de crecimiento y microestructura de la película pueden ser controladas.

Parámetros del producto
Modelo de producto CY-PECVD-240 equipo de deposición de vapor químico
Condición de instalación El equipo debe utilizarse a una altitud inferior a 1000m, a una temperatura de 25 ° C ±15 ° C y a una humedad de 55%Rh±10%Rh.
1, agua: El equipo está equipado con una máquina de refrigeración autocirculante (llena de agua pura o agua desionizada)
2, electricidad: ac220v 50Hz, debe tener buena conexión a tierra
3. Gas: El nitrógeno/argón (pureza superior al 99,99%) debe llenarse en la cámara del equipo, y la botella de gas necesaria para el experimento debe prepararse por sí misma (con Ø10mm junta de doble manga) y válvula reductora de presión
4, dispositivo de ventilación: necesario
Característica principal 1. Se requiere una temperatura de formación de película baja
2. Tasa de deposición rápida y aplicación amplia
3. Pequeño tamaño, fácil de manejar
4. Fácil de controlar utilizando la radiofrecuencia como fuente de mejora
5. Fácil de limpiar e instalar.
6. Control de pantalla táctil integrado
Alimentación de radiofrecuencia Frecuencia de la señal: 13,56MHz±0,005%
Potencia de salida: 0~500W
Potencia reflejada: <3W (potencia máxima)
Estabilidad de potencia: ±0,1%
Cámara de vacío El modo de acoplamiento capacitivo se adopta con la mesa de muestras en la parte inferior y la boquilla de suministro de gas en la parte superior.
Calentamiento de muestras: RT-1000ºC por encima, precisión de control de temperatura: ±1°C.
Velocidad de muestreo: Velocidad ajustable: 1-20rpm ajustable
Cabezal de pulverización: Φ100mm separación 40-100mm en línea ajustable continuamente
Soporte de muestra: Diámetro 100mm
Cámara de vacío: Tipo puerta delantera, acero inoxidable φ245mm X 300mm
Ventana de observación: φ100mm con deflector
Sistema de suministro de gas Rango de medición
Canal A: 0 ~ 200SCCM, Ar gas
Canal B: 0 a 200SCCM, O2 gas
Canal C: N2 ~ 200SCCM, 0 gas
Fuente líquida: Argón o nitrógeno
Especificación del conector :6,35mm conector del manguito
Sistema de vacío Puerto de aspiración tipo puerto: KF40; Puerto de escape: G1"
Velocidad de escape
Nitrógeno: 60L/S
Nitrógeno con red de protección: 55L/S.
Tipo de rodamiento: Rodamiento cerámico, lubricado con grasa
Método de enfriamiento: Enfriamiento forzado por aire
Velocidad: 69000rpm
Tiempo de inicio: 1,5 a 2 minutos
Tiempo de parada: 15 a 25 minutos
Relación de compresión N2:2x 107
Relación de compresión H2:3x 103
Contrapresión máxima admisible: 800Pa
Vida útil: 20000 horas
Controlador de bomba molecular: TC75
Tipo de bomba auxiliar: Bomba de vacío de paletas rotativas de dos etapas
Velocidad de escape: 160L/min
Estudio de deposición 0,133-40Pa(puede ajustarse según el proceso)
Indicador de vacío Manómetro de vacío combinado
Refrigerador de agua Caudal de agua: 10L/min; Potencia: 0,1Kw
Temperatura del agua de refrigeración: <37ºC.
Periodo de garantía El período de garantía estándar es de 1 años
Fotos detalladas

 

Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor DepositionPecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor DepositionPecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition


Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Fundada en 2005, Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. Es una empresa especializada en el desarrollo y la producción de equipos de investigación de tecnología de laboratorio. Los productos son mezclados, prensados, quemados, cortados, molidos, equipo analítico pulido, revestido y consumibles relacionados. Los productos incluyen equipos de sinterización de laboratorio, equipos de revestimiento, etc. En la actualidad, se ha exportado a 25 países y regiones como los Estados Unidos, Europa y el sudeste de Asia, y ha sido bien recibido por varias unidades de investigación científica.

Tenemos un equipo de investigación y desarrollo tecnológico maduro, el número de técnicos es de 33, la empresa tiene 150 personas, más de 500 metros cuadrados de espacio de oficina, la fábrica cubre un área de unos 1.500 metros cuadrados situada en el Parque Industrial electrónico de la Zona de Alta Tecnología de Zhengzhou. Los productos están principalmente ubicados en el mercado de la investigación, sirviendo la investigación científica en los laboratorios de universidades y colegios, y también pueden personalizar los productos de acuerdo a sus necesidades.

Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

P. ¿es usted un fabricante o una empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, tenemos su propio equipo de diseño y fábrica, tenemos una experiencia técnica madura, y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.

P. ¿Cómo es el sistema de servicio postventa de su empresa?
R. el período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responder a usted en 24 horas para resolver cualquier problema técnico.

P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A.1. Si los bienes están en stock, es de 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Normalmente toma 30-60 días dependiendo de las especificaciones del instrumento personalizado.

P. el suministro de energía y el enchufe de nuestro país son diferentes. ¿Cómo lo solucionas?
R. podemos suministrar un transformador y enchufe de acuerdo con sus requisitos locales de acuerdo con el enchufe de alimentación de diferentes países.

P. ¿Cómo pagar?
A.T / T, L / C, D / P, etc., se recomienda utilizar la Garantía Comercial Alibaba.

P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A.1. Modelo de exportación fumigación signo de madera embalaje de cajas 2. Express, aire, transporte marítimo de acuerdo con las necesidades del cliente, encontrar la manera más adecuada.

Si tiene más preguntas, póngase en contacto con el servicio de atención al cliente


 

Contáctenos

No dude en enviarnos su consulta en el siguiente formulario. Le responderemos en 24 horas.