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Información Básica.
Descripción de Producto
La deposición física de vapor (PVD) procesa el equipo de deposición de película fina
DEPOSICIÓN DE LA CANALETA
La deposición de esputo, también conocida como espumación, es el proceso en el que el material no se vaporiza térmicamente y los átomos se redirigen físicamente desde el material de origen al sustrato por colisión de una partícula bombardeante. La distancia desde la fuente hasta el sustrato es mucho más corta que la deposición al vacío. El espumador también puede hacerse bajo una presión de plasma más alta de 5-20 mTorr y el material se calienta por colisiones con moléculas de gas. La fuente de espumación en sí puede estar hecha de elementos, aleaciones, mezclas o compuestos. El nitruro de titanio (estaño) y el nitruro de circonio (ZrN) junto con algunos carbono mixto de diamante (DLC) de boro son recubrimientos comunes para este proceso. Esta forma de deposición se utiliza comúnmente en la fabricación de semiconductores, en vidrio arquitectónico, revestimientos reflectantes, discos compactos (CD), películas magnéticas, lubricantes de película seca y revestimientos decorativos.
La máquina de revestimiento de espumación de magnetrón DC se utiliza generalmente para el revestimiento de espumación directa para diferentes sustratos, como tipos de plástico, vidrio, metal, cerámica, etc.
Hemos dedicado más de 10 años a la fabricación y diseño de magnetrones que pueden ser rectangulares, cilíndricos, circulares y de varios tamaños. Han desarrollado una plétora de objetivos que pueden ser enfriados directamente o pegados, y pueden ser fabricados de tal manera que puedan ajustarse a la mayoría de tamaños de magnetrón.
Los campos magnéticos pueden definir esencialmente el comportamiento y las propiedades de las partículas cargadas de iones que se utilizan para el esputo. El desarrollo y comercialización de software que pueda permitir el modelado distintivo de espumación de magnetrón está destinado a mejorar su productividad, aplicabilidad y reproducibilidad.
Especificaciones técnicas |
Número de modelo | SP-1000 | SP-1200 | SP-1400 | SP-1800 |
Dimensión de la cámara de vacío | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 |
(diámetro*altura) | ||||
Material de la cámara de vacío | Acero al carbono, SUS304 o SUS316L | |||
Cantidad de cátodos de pulverización | ≥1 juegos, sistema de pulverización de CC, cátodos de pulverización cilíndricos o rectangulares | |||
Sistema de bombeo | Bombas moleculares turbo o bomba de difusión + bomba mecánica | |||
Tiempo de bombeo | De la atmósfera a 5,0*10-2PA menos de 8 minutos | |||
Sistema de distribución de gas con controladores de flujo de masa | ≥2 juegos | |||
Vacío definitivo | 5,0*10-4 Pa | |||
Temperatura de trabajo | Temperatura ambiente | |||
Modo de trabajo | Modo automático o manual, por 10,4 (o 15) pulgadas PLC toca la pantalla | |||
Potencia total | 40-100kW | 70-1000kW | ||
Estas unidades que puede personalizar | 1. Tamaño de la cámara de vacío | |||
2. Cantidad de cátodos de pulverización | ||||
3. Configuraciones de bombas | ||||
4. Sistema de distribución de gas | ||||
Instrumentos opcionales | 1. Monitor de espesor de recubrimientos | |||
2. Detector de fugas | ||||
3. Sistema de deposición de iones de arco (no para modelo continuo) | ||||
4. Sistema de evaporación (no para modelo continuo) |
PS: Todas las especificaciones se pueden personalizar de acuerdo a sus solicitudes.
1. El embalaje interior es una película plástica protectora para proteger la máquina PVD de la humedad y la lluvia.
2. El embalaje exterior es una placa de madera contrachapada con acero para mantener la máquina PVD en buenas condiciones durante el transporte a larga distancia.
Después de que el cliente haya probado la máquina de recubrimiento PVD y asegúrese de que la máquina no tiene ningún problema, la separaremos. El embalaje sólido puede asegurarse de que recibirá una máquina sin destruir.
Guía de consulta:
La máquina de recubrimiento PVD puede usarse para diferentes materiales e industrias. Para recomendarle la máquina adecuada, necesitamos su ayuda para decirnos:
¿Cuál es el material de su producto?
¿Cuál es el tamaño máximo de pieza?
¿Cuál es el tamaño de sus piezas más comunes?
¿Cuál es la cantidad deseada de piezas que se deben revestir diariamente?
¿Cuáles son sus recubrimientos o colores de recubrimiento deseados?